質(zhì)量流量控制器不僅能檢測總流量，并且能在檢測時自動控制總流量?？蛻裟芨鶕?jù)本身的所需設(shè)置總流量。一般來說，這種質(zhì)量流量計僅用作流量測量或監(jiān)測。該流量控制器采用毛細(xì)管傳熱溫差熱法原理檢測氣體質(zhì)量流量（無氣溫和負(fù)擔(dān)應(yīng)對）。傳感器受熱橋測得的總流量訊號送至放大器調(diào)大。將調(diào)大后的流量檢測電壓與設(shè)置電壓進(jìn)行較為，并且調(diào)大差分信號調(diào)節(jié)調(diào)節(jié)閥。通過通道的閉環(huán)控制流使其相等設(shè)置的總流量。分流器取決于主通道中的總流量。與本設(shè)備配置的總流量顯示儀表，具有穩(wěn)壓電源、數(shù)字電壓表、電位計、外圍設(shè)備、內(nèi)部轉(zhuǎn)換和三位閥控控制開關(guān)等。當(dāng)所需調(diào)節(jié)總流量時，就所需這個控制器。
質(zhì)量流量控制器由流量傳感器、分流器、通道、流量調(diào)節(jié)閥和控制電路等部件組成，氣體通過質(zhì)量流量控制器時，大部分氣體通過層流元件，成比例的部分氣體通過流量傳感器。 采用恒溫差方案的熱式傳感器將流量信號轉(zhuǎn)換為申信號，以此為基準(zhǔn)測量當(dāng)前通過MFC的氣體流量大小。
優(yōu)勢：
1、總流量的檢測和調(diào)節(jié)不因氣溫或負(fù)擔(dān)的波動而失準(zhǔn)。
2、檢測調(diào)節(jié)的智能化。
3、確切地按量調(diào)節(jié)總流量。
4、應(yīng)用范圍寬。
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