高精度前端后端腔體壓力控制器、壓力調(diào)節(jié)器

簡要描述：高精度前端后端腔體壓力控制器、壓力調(diào)節(jié)器：
-- ACU20P系列壓力控制器配備高性能傳感器和數(shù)字電路板，可提供更高精度和性能的壓力控制，
-- 通過調(diào)節(jié)設(shè)定值就能精準(zhǔn)的控制整個工藝過程，除了標(biāo)配的Modbus協(xié)議外，還支持Profibus協(xié)議。

產(chǎn)品型號：ACU20PC-LH
廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
更新時間：2025-07-17
訪問量：2002

產(chǎn)品咨詢聯(lián)系我們

產(chǎn)品分類

數(shù)控電子壓力控制器EPC

壓力計單閥壓力控制器雙閥壓力控制器高精度單閥壓力控制器查看全部產(chǎn)品

相關(guān)文章

詳細(xì)介紹

一、ACU20P系列 高精度前端后端腔體壓力控制器、壓力調(diào)節(jié)器 產(chǎn)品特點：

-- 標(biāo)配一個壓力傳感器和數(shù)字電路板，提供高精度、快速穩(wěn)定、可靠的壓力控制，該PC數(shù)字板具有控制壓力所需的所有功能。

-- 除了配備標(biāo)準(zhǔn)的RS485輸出信號，ACU20PCD還提供模擬量輸入/出信號，可通過調(diào)節(jié)設(shè)定值就能精準(zhǔn)的控制整個工藝過程。

-- 可裝配一體式控制閥或分體式控制閥。它是一種比例式電磁控制閥，具有超快和平穩(wěn)控制的特性。

二、應(yīng)用領(lǐng)域：

-- 半導(dǎo)體工藝，氣相和液相色譜儀，MOCVD過程中蒸汽壓力控制，擠塑成型過程中氣體壓力保護(hù)控制，高壓釜/反應(yīng)釜壓力控制等。

三、ACU20P系列 高精度前端后端腔體壓力控制器、壓力調(diào)節(jié)器 產(chǎn)品參數(shù)列舉：

（如所需性能與下述性能參數(shù)不同，請溝通定制。)

技術(shù)參數(shù)	精度(包括線性和滯后性)	≤±0.5%F.S
	壓力量程比	壓力計	1:100
		壓力控制器	1:50
	重復(fù)性	≤0.1%
	傳感器響應(yīng)時間	0.2s
	控制穩(wěn)定性	≤±0.05%F.S(測定條件：1 L/min N2)
	運行溫度	-10~+70℃
	溫度敏感性	0.1%FS/℃
	漏率	1×10-9 SCCS He
	方位影響度（90°變化）	＜0.03 KPa（絕壓/表壓傳感器）
		＜0.6 KPa（差壓傳感器）
	預(yù)熱時間	忽略不計

機(jī)械部件	材質(zhì)	不銹鋼
	工藝連接	G3/8"
	密封材質(zhì)	氟橡膠/丁腈橡膠/氯丁橡膠/聚四氟乙烯/全氟/乙丙橡膠其他
	防護(hù)等級（外殼）	IP40

電氣特性	電源	15~24Vdc
	數(shù)字輸出	RS485/RS232、Profibus-DP協(xié)議、Devicenet協(xié)議等
	電氣連接	DB9

產(chǎn)品咨詢

留言框

產(chǎn)品：
您的單位：
您的姓名：
聯(lián)系電話：
常用郵箱：
省份：
詳細(xì)地址：
補充說明：
驗證碼：

請輸入計算結(jié)果（填寫阿拉伯?dāng)?shù)字），如：三加四=7

高精度前端后端腔體壓力控制器、壓力調(diào)節(jié)器

留言框

產(chǎn)品：

您的單位：

您的姓名：

聯(lián)系電話：

常用郵箱：

省份：

詳細(xì)地址：

補充說明：

驗證碼：